S系列 载板AOI

从 1mil 到 0.39mil 的精度阶梯 —— 盲孔与镭射孔检测 × 全流程 AI

先进封装把载板线宽推进到 sub-mil 段位(AI 芯片 CoWoS 载板 12L+ / 0.6mil,5G 光模块 0.5–0.8mil,Micro-LED 基板 0.5–0.8mil),传统 1mil 精度已经不够用。泊纳莱 S 系列载板 AOI 用一条完整的精度阶梯覆盖从硬板到 IC 载板的全场景——把漏检风险拦在封装之前。

泊纳莱专注 PCB 光学检测与电测设备:AOI 装机超过 2000 台、VRS 超过 2800 台;拥有 37 项实用新型、6 项发明专利、9 项软件著作权;高新技术企业、江苏省瞪羚企业(全省第一批)。

精度阶梯 · 按需选型

机型检测线宽像素分辨率覆盖场景状态
S9C1.2 mil 级5 μm/px通用单机:内外层线路 / P0.9 灯珠板 / 软硬结合高低差板 / 二次镀铜 / 透明基材量产
S11C1.0 mil / 25.4 μm8 μm/px硬板 / HDI / 普通载板(主力覆盖)量产
S13C ★0.6 mil / 15.24 μm5 μm/px高端 IC 载板(ABF/BT)/ Micro-LED 驱动基板(主力机型)量产
S15C0.47 mil / 12 μm≈3 μm/pxABF/BT 高端载板 / HDI Any-layer / Mini-LED 基板已完成样机

按行业标准「3 像素/线」判定:可靠检测最小线宽 ≈ 3 × 像素分辨率;S17(0.39mil / 10μm)规划中。

检测原理:设计资料与实拍图像逐点比对(五步闭环)

  1. 扫描成像——彩色线扫、多重影像,明场/暗场可切换
  2. 轮廓提取——灰阶与梯度提取线路、孔等特征
  3. 自动对位——CAM ↔ 图像坐标,吸收放置偏差(±80mil / ±2.5°)
  4. 缺陷判定——开短路、线细、孔类缺陷定量评估
  5. 分类复判——缺陷分类、复判、统计,结果回流 AI 学习

检测能力一览

板材覆盖:FR-4 硬板 / FPC 软板 / 软硬结合板 / 干膜镀铜板 / HDI / IC 载板(ABF、BT)/ Micro-LED 基板 / 陶瓷、透明基板

缺陷类型:短路·开路 / 凸起·缺口 / 残渣·针孔 / 漏孔·多孔 / 破孔·孔偏 / 线细·间距窄 / Dimple(孔口凹陷)· 孔底残胶(IC 载板 / HDI 必检项)

孔检测专项:通孔 / VIA / 盲孔 / 镭射孔

  • 通孔 / 插件孔(200μm+):漏孔、多孔、破孔
  • VIA / 盲孔(75–150μm):漏孔、孔偏、孔径 —— MARK 点对位成功率 ≥99%(重复装夹/扫描验证),双道检测、多坐标系闭环,对位失败自动保护绝不给假数据
  • 微孔(25–75μm):激光钻孔检测,需 sub-mil 精度设备
  • 镭射孔:电镀前(除胶后)/ 电镀后(Dimple)两段检测

孔位与孔径精度由系统校准(0.5μm 级孔位分布校准、第三方认证治具)+ 亚像素测量共同保证。

3D 扩展(选配):凹陷「多深」不再靠估计

2D 能看到灰阶异常,但给不出真实深度。S 系列平台可选配 3D 测深:L1(标定 2D)L2(2D 全扫 + 3D 复判),直接输出 μm 级凹陷深度、按阈值判 OK/NG,数据可进 MES/SPC。详见 S系列 3D-AOI → | AI 全流程功能详见 全新AOI(S)系列(AI 全流程)→

客户装机验证

  • 富士康精密 — S13C,10+ 台
  • 信泰电子(SIMMTECH) — S11C / S13C,6 台
  • 和美精艺 — S13C / S15C,4 台
  • 中※科微波、北※光电、兴※讯电子、富※华半导体 等多家客户 — 多台在产(部分客户依商务约定脱敏)

技术规格(S9 / S9C 单机平台参考)

可测板厚1 – 300 mil最大检测尺寸30" × 27.5"(762 × 698 mm)
相机16K 高速彩色线扫光源多组可控 LED,明场/暗场
资料格式Gerber RS274X / ODB++(一键自动做资料)台板分区域真空吸气
选配算力增强 / 人工·AI 筛点 / 离线复判

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